7940型웨이퍼칩칩시스템시스템시스템

웨이퍼칩검사시스템
주요특징
  • 동시양면컬러검사
  • 6“/8”웨이퍼검사
  • 자동웨이퍼정렬
  • 웨이퍼/엣지/엣지
  • 크로마의적인결함알고리즘알고리즘
  • 다양한결함정의
  • 완벽한결함분류
  • 98퍼센트이상이상
  • 웨이퍼매핑
    - 산출
    - 업/다운다운작업

Chroma 7940웨이퍼칩시스템포스트웨이퍼점검을자동화입니다입니다입니다。웨이퍼칩하단면동시검사검사있습니다있습니다있습니다。탁월한광카메라도입한이시스템또는플립칩검사와같은같은다양한한웨이퍼프로세스및테스트테스트를를구성구성구성에에에맞게맞게맞게사용자사용자가지정할할할。

Chroma 7940은고속검사알고리즘으로으로칩당칩당최대(Micro Second)처리량6“ 6”웨이퍼웨이퍼웨이퍼웨이퍼를를분에할수수。1.3μm/픽셀0.5μm/픽셀를를2x2x및5x확대확대사용하며하며하며하며하며하며하며가능크기크기1.5μm。

시스템기능

테이프확장칩이불규칙해질수있으며있으며있으며있으며있으며동안칩을다시정렬해야해야검사를할할수수있습니다Chroma 7940에는이러한한을자동으로웨이퍼각도를조절하는소프트웨어기능이포함되어되어。시스템은의적매핑과결과제공하며사용자친화적인구성으로으로사용하기하기매우매우쉽게시스템시스템이이이구성구성되어있습니다。

결함분석

(bin)데이터데이터데이터외도결과에대한초기측정측정데이터값들을기록기록합니다。

응용분야

LED상단면결함
  • 垫子缺陷
  • 垫残留物
  • iTo剥皮
  • 手指折断
  • 梅萨异常
  • EPI缺陷
  • 芯片
  • 芯片残留物


▲共同轴조명조명있는이미지이미지


▲戒指조명이전면이미지이미지

LED후면결함
  • 分割异常
  • 垫颠簸
  • 芯片
  • 金属缺乏


▲共同轴조명조명있는이미지이미지


▲戒指조명이후면이미지이미지

VCSEL상단면결함
  • 垫子缺陷
  • 垫刮擦
  • 排放区域缺陷
  • 脱皮
  • 梅萨异常
  • EPI缺陷
  • 芯片
  • 芯片残留物


▲共同轴조명조명있는이미지이미지


▲戒指조명이전면이미지이미지

VCSEL후면결함
  • 分割异常
  • 垫颠簸
  • 芯片
  • 金属缺乏


▲戒指조명이후면이미지이미지


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웨이퍼칩검사시스템