Chroma 7940웨이퍼칩시스템포스트웨이퍼점검을자동화입니다입니다입니다。웨이퍼칩하단면동시검사검사있습니다있습니다있습니다。탁월한광카메라도입한이시스템또는플립칩검사와같은같은다양한한웨이퍼프로세스및테스트테스트를를구성구성구성에에에맞게맞게맞게사용자사용자가지정할할할。
Chroma 7940은고속검사알고리즘으로으로칩당칩당최대(Micro Second)처리량6“ 6”웨이퍼웨이퍼웨이퍼웨이퍼를를분에할수수。1.3μm/픽셀0.5μm/픽셀를를2x2x및5x확대확대사용하며하며하며하며하며하며하며가능크기크기1.5μm。
시스템기능
테이프확장칩이불규칙해질수있으며있으며있으며있으며있으며동안칩을다시정렬해야해야검사를할할수수있습니다Chroma 7940에는이러한한을자동으로웨이퍼각도를조절하는소프트웨어기능이포함되어되어。시스템은의적매핑과결과제공하며사용자친화적인구성으로으로사용하기하기매우매우쉽게시스템시스템이이이구성구성되어있습니다。
결함분석
(bin)데이터데이터데이터외도결과에대한초기측정측정데이터값들을기록기록합니다。
응용분야
LED상단면결함 | ||
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LED후면결함 | ||
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VCSEL상단면결함 | ||
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VCSEL후면결함 | ||
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